Komponen Aloi Berat Tungsten (WHA) untuk Implantasi Ion
Secara amnya, tungsten dan molibdenum adalah bahan penting untuk komponen yang digunakan dalam sistem implantasi ion, terutamanya dalam laluan rasuk. Bahan-bahan ini dipilih kerana keupayaannya untuk menahan keadaan implantasi ion yang teruk, termasuk suhu tinggi, medan magnet yang kuat, dan gas proses yang agresif.
Mengapa Tungsten dan Molibdenum?
Takat Lebur Tinggi:
Kedua-dua tungsten dan molibdenum mempunyai takat lebur yang sangat tinggi, membolehkan mereka menahan suhu melampau yang dihasilkan semasa implantasi ion.
Rintangan kakisan:
Mereka mempamerkan rintangan kakisan yang sangat baik, yang penting apabila terdedah kepada gas reaktif dan hasil sampingan proses implantasi ion.
Kekuatan Tinggi dan Kekonduksian Terma:
Sifat-sifat ini penting untuk mengekalkan integriti struktur komponen dan menghilangkan haba dengan cekap semasa operasi.
Ketulenan Tinggi:
Bahan ketulenan tinggi meminimumkan pencemaran pancaran ion dan bahan yang diimplan.
Komponen Implantasi Ion Biasa Diperbuat daripada Tungsten dan Molibdenum:
Bilik:
Ruang vakum yang menempatkan sumber ion dan kawasan sasaran selalunya diperbuat daripada tungsten, molibdenum, atau aloinya.
Filamen:
Dalam sumber ion, filamen yang diperbuat daripada aloi tungsten atau tungsten digunakan untuk menjana plasma dari mana ion diekstrak.
Celah Arka:
Komponen ini membantu membentuk dan mengarahkan pancaran ion, dan selalunya diperbuat daripada tungsten atau molibdenum.
Pemegang dan Katod:
Pelbagai pemegang dan katod dalam sumber ion dan laluan rasuk dibuat daripada logam refraktori ini.
Alat Ganti:
Komponen tungsten dan molibdenum juga digunakan untuk pelbagai alat ganti dan penggantian dalam implan.
Komponen Beamline:
Komponen dalam garis rasuk, seperti pengehad rasuk dan apertur, juga boleh dibuat daripada tungsten atau molibdenum.
Contoh Syarikat yang Menyediakan Komponen Implantasi Ion:
Walau bagaimanapun, tungsten Heavy Alloys (WHA), terutamanya komposisi W-Ni-Fe dan W-Ni-Cu, digunakan secara meluas dalam sistem implantasi ion kerana ketumpatannya yang luar biasa, sifat pelindung sinaran dan kestabilan terma. Aloi ini sesuai untuk komponen yang memerlukan jisim tinggi, ketahanan, dan rintangan kepada pengeboman ion.
Sifat Utama untuk Aplikasi Implantasi Ion
✔ Ketumpatan Tinggi (17-18.5 g/cm³) – Berkesan untuk menyekat penyerakan ion dan meningkatkan kawalan rasuk.
✔ Perisai Sinaran Cemerlang – Meminimumkan pelepasan-sinar X dan elektron sekunder.
✔ Takat Lebur & Kestabilan Terma Tinggi – Menahan-pengeboman ion tenaga tinggi tanpa ubah bentuk.
✔ Kebolehmesinan yang Baik – Boleh dimesin-kepersisan kepada bentuk yang kompleks (berbanding dengan tungsten tulen).
✔ Gas Keluar Rendah – Kritikal untuk mengekalkan keadaan vakum yang tinggi dalam implan ion.
Komponen WHA Biasa dalam Implantasi Ion
Penyumbat Rasuk & Bukaan – Mengawal dan membentuk rasuk ion.
Faraday Cups – Mengukur arus pancaran ion dengan tepat.
Blok & Kolimator Perisai – Mengurangkan penyebaran ion yang tidak diingini.
Komponen Pengendalian Wafer – Bahagian tahan lasak untuk pemprosesan semikonduktor.
Komponen Penebat – Kekuatan dielektrik yang tinggi jika diperlukan.
Mengapa Pilih WHA Daripada Tungsten Tulen?
Kebolehmesinan yang lebih baik (disebabkan oleh fasa pengikat Ni/Fe/Cu).
Keliatan patah yang lebih tinggi (kurang rapuh daripada W tulen).
Kos-berkesan untuk geometri kompleks.
Gred & Penyesuaian Tersedia
Gred Standard: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Komposisi & Dimensi Tersuai (rod, plat, bahagian mesin)
Kemasan Permukaan: Digilap, dikisar atau disalut untuk prestasi yang dipertingkatkan.
Jika sebarang pertanyaan yang berpotensi, sila hubungi kami: info@yitechtrading.com