Penerangan Produk
Filamen tungsten implantasi ion ketulenan tinggi ialah filamen yang digunakan dalam peralatan implantasi ion. Ia direka bentuk untuk menahan keadaan keras proses implantasi ion, di mana ion dipercepatkan dan disuntik ke dalam bahan sasaran.
Kawat tungsten implantasi ion ialah komponen utama yang digunakan dalam mesin implantasi ion, terutamanya dalam proses pembuatan semikonduktor. Kawat tungsten jenis ini memainkan peranan penting dalam peralatan semikonduktor, dan kualiti serta prestasinya secara langsung mempengaruhi kecekapan talian proses IC. Mesin implantasi ion ialah peralatan utama dalam proses pembuatan Litar Bersepadu Skala besar, dan peranan wayar tungsten sebagai sumber ion tidak boleh diabaikan.
Spesifikasi
|
Dimensi |
Disesuaikan |
|
Permohonan |
semikonduktor |
|
Permukaan |
digilap |
|
Kesucian |
99.95% |
|
bahan |
W1 |
|
Ketumpatan |
19.3g/cm3 |
|
Piawaian pelaksanaan |
GB/T 4181-2017 |
|
Takat lebur |
3400 darjah |
|
kandungan kekotoran |
0.01% |
Cool tags: filamen tungsten implantasi ion, pembekal filamen tungsten implantasi ion China, kilang



