Alat Ganti Implantasi Mo Ion

Implantasi ion ialah teknologi yang sangat penting dalam pembuatan litar bersepadu moden, yang menggunakan mesin implantasi ion untuk mencapai doping semikonduktor. Ia menggunakan wayar tungsten sebagai katod untuk memancarkan elektron untuk membedil molekul gas yang mengandungi unsur kekotoran tertentu, menghasilkan atom kekotoran khusus terion yang dipercepatkan oleh medan elektrostatik dan mengenai permukaan wafer kristal tunggal silikon, dan kemudian ditanamkan ke dalam semikonduktor untuk menukar ciri kekonduksian dan akhirnya membentuk struktur transistor.

Disebabkan oleh sifat kimia suhu tinggi yang stabil, ubah bentuk haba yang kecil, dan hayat perkhidmatan yang panjang bagi bahan tungsten molibdenum, komponen sumber ion dan bahan guna mesin implantasi ion dalam industri semikonduktor kebanyakannya diperbuat daripada bahan tungsten dan molibdenum. Peranti ini termasuk tiub pelindung untuk memancarkan katod elektron, panel pelepasan, rod penetapan pusat dan plat wayar dalam ruang arka. Kami secara kolektif merujuk kepada mereka sebagai bahagian tungsten untuk implantasi ion dan bahagian molibdenum untuk implantasi ion.

Cool tags: alat ganti implantasi mo ion, pembekal alat ganti implantasi mo ion China, kilang